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测量范围 |
Z轴(垂直) 640μm (-320μm~320μm)/X轴(水平) 17.5mm（0.69 inch） |
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分辨率Z轴（垂直） |
0.004μm/±40μm 0.008μm/±80μm 0.016μm/±160μm 0.030μm/±320μm |
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测量参数 |
Ra Rz Rq Rt Rc Rp Rv R3z R3y Rz(JIS) Ry Rs Rsk Rku Rmax Rsm Rmr RPc Rk Rpk Rvk Mr1 Mr2 |
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显示范围 |
Ra,Rq：0.005μm~16μm；Rz,Rv ,R3z,Rt,Rp,R3z,：0.02μm~160μm Rsm, Rs：1mm；Rmr：0~100%；Rsk：0~100% |
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图形 |
支承率曲线，粗糙度 原始轮廓，滤波波形 |
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滤波器 |
RC,PC-RC,Gauss,D-P |
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取样长度(lr) |
0.25,0.8,2.5mm |
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评定长度（ln） |
Ln= lr×n n=1~5 |
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测量原理 |
位移式差动电感 |
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触针 |
天然金刚石，90锥角，5μm针尖半径 |
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测力 |
<4mN |
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导头 |
硬质合金，滑行方向半径40mm |
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滑行速度 |
lr=0.25, Vt=0.135mm/s lr=0.8, Vt=0. 5mm/s lr=2. 5, Vt=1mm/s 返回 Vt=1mm/s |
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示值精度 |
0.001μm |
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示值误差 |
±(5nm+0.1A) A:多刻线样板参数Ra的标准值 |
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示值变动性 |
不大于3% |
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残余轮廓 |
不大于0.010μm |
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电源及充电电压 |
3000mAh锂离子电池，用DC9V/1000mA,充电器充电 |
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主机外形尺寸 |
155x145x65mm |
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驱动器外形尺寸 |
23x27x115mm |
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支架可调高度 |
40mm |
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重量（主机） |
约400g |
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工作环境 |
温度：- 20℃ ~ 40℃ 湿度：< 90% RH |
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储存运输环境 |
温度：- 40℃ ~ 60℃ 湿度：< 90% RH |
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可选配件 |
磁性表座、表座连接块、高度尺、高度尺连接块，曲面传感器、小孔传感器、深槽传感器、极小孔传感器、延长杆、
转接杆、微型打印机、200mm测量平台、300mm大理石测量平台，数传处理软件，手机APP |
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